飞托克与您相约 2026 年 SEMICON Europa

飞托克与您相约2026年SEMICON Europa

 

展会信息

 

SEMICON Europa 是欧洲半导体及微电子行业盛会,汇聚电子设计与制造全产业链的核心企业与行业参与者。2026 年展会以“欧洲新时代:应对多重挑战”为主题,将于 11 月 10 日至 13 日在德国慕尼黑与 electronica 同期举办。本届展会将展示前沿技术,为行业交流、建立合作关系及分享专业知识提供重要平台,并将重点关注先进封装、智能制造及可持续发展等行业关键趋势。通过汇聚来自全球产业链的行业领袖与专业人士,SEMICON Europa 致力于促进产业协作、加速技术创新,并推动构建更具竞争力和可持续性的欧洲半导体产业生态系统。

 

SEMICON Europa 2026 飞托克展位图(C1315,C1 馆)

 

展会时间:2026 年 11 月 10 – 13 日

展会地点:德国慕尼黑国际展览中心

飞托克展台:C1315(C1 馆)

 

飞托克展品

 

作为半导体行业备受信赖的流体系统解决方案供应商,飞托克为半导体行业提供全方位的优质产品和服务,从接头、阀门和钢管等超高纯管阀件到集成系统,从系统设计到现场服务。

 

本次展会,飞托克将全方位展示高纯及超高纯流体控制系统解决方案,专为满足半导体制造领域的严苛需求而设计,包括:面密封接头、焊接接头、气瓶接头、快速接头、软管组件、隔膜阀、单向阀、高纯球阀、减压阀、EP 钢管、气体控制组件和模块化气体系统等。这些以卓越性能和稳定可靠著称的解决方案,已被广泛应用于薄膜沉积、刻蚀、离子注入和 CMP 等半导体制造核心工艺环节。

 

重点展品

 

面密封接头 FR 系列

面密封接头FR系列

飞托克 FR 系列金属垫片面密封接头安装拆卸便捷,并具备良好的介质兼容性。配合相应的垫片,氦气泄漏率可低至 4 × 10⁻¹¹ std·cm³/s,满足先进制程对高纯流体系统的严苛要求。目前有八种不同功能的金属垫片可供选择,其中的红宝石限流垫片采用红宝石限流孔,具有优异的耐磨性、耐腐蚀性和耐高温性,能在严苛工况下保持稳定性能,广泛应用于半导体刻蚀设备。

隔膜阀

隔膜阀

飞托克能够提供覆盖不同压力和流量范围的多系列隔膜阀产品,并可提供手动或气动驱动方式以及多种结构配置。针对 ALD 等对阀门性能要求较高的先进应用,飞托克还可提供 ALD 系列热浸没型隔膜阀,可同时将阀体和执行器加热至 220 °C。该设计有助于实现系统温度分布均匀,减少冷点,并保持工艺介质的稳定相态,从而有助于提高工艺精度。

隔膜式减压阀

隔膜式减压阀

飞托克隔膜式减压阀的传感机构为金属隔膜,具有优异的灵敏度和设定压力稳定性,并且隔膜式的密封结构适用于高纯应用。其中,联结隔膜减压阀的联结隔膜式结构可以提供主动关断功能,提高安全性。部分型号配置捕获排放孔,能在隔膜密封意外失效时,将介质排放至安全位置。

金属挠性软管

金属挠性软管

飞托克金属挠性软管内管和接头均采用不锈钢制造,可用于真空和正压系统中,工作压力可达 413 bar(6000 psig),提供标准长度及定制长度,并可选配氦气泄漏测试。其中,HMF 系列成型保持金属挠性软管的工作压力可达 9.3 bar(135 psig),可手动弯曲至所需形状并长久保持,能够在真空或低压工况下补偿管路错位与振动。

 

欢迎莅临飞托克展位 C1315,了解我们专为半导体制造打造的高纯及超高纯流体系统解决方案。我们的团队将现场展示满足行业对洁净度、精密性及可靠性严苛要求的产品,并分享专业技术见解,深入介绍飞托克解决方案如何支持严苛的半导体应用需求,并提升工艺性能。

 

我们期待在 SEMICON Europa 2026 与业界专业人士交流互动、分享专业经验,并共同探讨飞托克先进的流体控制解决方案如何满足半导体制造领域不断发展的需求。

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