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Einführung in W-Dichtung und C-Dichtung

Einführung in W-Dichtung und C-Dichtung

 

Integrierte Gassysteme (IGS), die in Halbleiteranlagen verwendet werden, bestehen typischerweise aus Komponenten wie Membranventilen, Rückschlagventilen, Druckreglern, Filtern, Drucksensoren, Massendurchflussreglern und Trägerplatten. Diese Komponenten werden in der Regel oberflächenmontiert und entweder mit W-Dichtungen oder C-Dichtungen abgedichtet. Die Wahl der Dichtungsart ist entscheidend für die Dichtleistung des Systems. In diesem Tech Talk besprechen wir die Gemeinsamkeiten und Unterschiede zwischen W-Dichtung und C-Dichtung.

 

Gemeinsamkeiten zwischen W-Dichtung und C-Dichtung

 

 

W-Dichtung und C-Dichtung sind beides Arten von Metalldichtungen. Im Gegensatz zu nichtmetallischen Dichtungen wie Gummi oder Verbundwerkstoffen unterliegen Metalldichtungen keiner Alterung durch Verdichtung und weisen eine gute chemische Beständigkeit auf. FITOK W-Dichtungen (Serie IWG) und C-Dichtungen (Serie ICG) bestehen aus 316L- oder 316L-VAR-Edelstahl gemäß dem FITOK Ultrahochreinheitsprozess (FC-03). Diese Dichtungen sind elektropoliert, um eine Oberflächenrauheit von Ra ≤ 5 μin. (0,13 μm) zu erreichen, was dem SEMI F19 UHP-Standard entspricht. Mit hervorragender Dichtleistung liegt ihre Leckrate der Dichtfläche (Helium) ≤ 1×10-9 std cm3/s.

 

Im Vergleich zu Schweißdichtungen oder Metalldichtungen mit Stirnfläche sind W-Dichtung und C-Dichtung kompakter und können die Größe von Gasversorgungssystemen erheblich reduzieren. Für Anwendungen mit begrenztem Durchfluss sind Dichtungen mit spezifiziertem Durchlass erhältlich.

 

Unterschiede zwischen W-Dichtung und C-Dichtung

 

 

W-Dichtungen (Serie IWG) sind mit einer „schwimmenden“ Struktur ausgelegt, wodurch die Dichtfläche unabhängig von Komponenten ist, die äußeren Kräften ausgesetzt sind. Während der Montage presst sich die Dichtfläche der Dichtung gegen die oberflächenmontierten Komponenten (z. B. W-Dichtungsventilkörper) und Trägerplatten und bildet so die Dichtung. Jede W-Dichtung kann einzeln im System montiert werden, was eine einfache Demontage und Wiedermontage bei Änderungen des Systemlayouts ermöglicht. Darüber hinaus bietet das FITOK-Service-Kit (Modell-Nr.: SC-IGS-11) eine Dichtungs-Pinzette für W-Dichtungen, um eine qualitativ hochwertige Montage der Dichtung sicherzustellen.

 

W-Dichtung

 

Der Querschnitt einer C-Dichtung (Serie ICG) ähnelt dem Buchstaben „C“ mit zwei flachen Dichtwülsten auf beiden Seiten. Beim korrekten Anziehen pressen sich Ober- und Unterseite der Dichtung gegen die oberflächenmontierten Komponenten (z. B. C-Dichtungsventilkörper) und die gehärteten Dichtflächen der Trägerplatten und erzeugen so eine Abdichtung. Zusätzlich kann der C-Dichtungs-Halter dabei helfen, mehrere Dichtungen gleichzeitig zu positionieren.

 

C-Dichtung

 

Für jedes Integrierte Gassysteme (IGS) kann entweder eine W-Dichtung oder eine C-Dichtung die Anforderungen erfüllen. Aufgrund unterschiedlicher angewendeter SEMI-Normen unterscheiden sich jedoch die Dichtungen und Dichtflächen in ihrer Konstruktion. Kunden können je nach Nutzungsgewohnheiten und Art der Komponentendichtung zwischen W-Dichtung und C-Dichtung wählen.

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