Atomlagenabscheidung (ALD) ist ein Verfahren zur Beschichtung von Substraten mit Dünnschichten in atomarer Präzision. Da sich die Strukturgrößen von Halbleiterchips kontinuierlich verkleinern, stoßen herkömmliche Abscheidungstechniken an ihre Grenzen. Das Aufbringen ultradünner Schichten im Nanometerbereich erfordert die Atomlagenabscheidung (ALD), die es ermöglicht, Materialien Schicht für Schicht – eine Atomlage nach der anderen – abzulegen. Membranventile der ALD-Serie werden eingesetzt, um während des Abscheidungsprozesses präzise Dosen von Gasen zu dosieren, wie sie bei der Herstellung von Halbleiterchips benötigt werden.

Die Membranventile der DQ-Serie für niedrigen Druck bieten ein geringes internes Volumen, minimale Partikelbildung und keinen Totraum, was eine einfache Spülung des Durchflusswegs ermöglicht. Ein gekapselter Sitz widersteht Quellung und Kontamination. Eine Membran aus Kobaltlegierung sorgt für eine lange Lebensdauer, hohe Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit. Metall-zu-Metall-Dichtungen verhindern äußere Leckagen. Ein Griff mit Sichtfenster ermöglicht eine einfache Erkennung von geöffnetem oder geschlossenem Zustand. Es stehen verschiedene Anschlussarten, Größen und Sitzmaterialien zur Verfügung. Die benetzten Oberflächen sind auf Ra 5 μin (0,13 μm) elektropoliert und eignen sich somit für Anwendungen mit hohen und ultrahohen Reinheitsanforderungen.

Membranventile mit austauschbarem Sitz eignen sich für Anwendungen, die eine häufige Wartung des Ventils und den Austausch des Sitzes erfordern, wie z. B. bei Vorläuferbehältern und Kanistern. Ihre einfache Bedienung, lange Lebensdauer und hervorragende Dichtleistung tragen dazu bei, die Kosten für den Kunden zu senken.

Die pneumatischen Membranventile der DP-Serie für niedrigen Druck zeichnen sich durch ein minimales internes Volumen und keinen Totraum aus. Der Verzicht auf intern benetzte Gewinde oder Federn reduziert die Partikelbildung und -anhaftung und gewährleistet so hohe Reinheit. Ein vollständig gekapselter Sitz bietet Beständigkeit gegen Quellung und Kontamination. Eine Membran aus Kobaltlegierung sorgt für eine lange Lebensdauer sowie hohe Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit. Eine Metall-zu-Metall-Dichtung verhindert äußere Leckagen. Es stehen verschiedene Anschlussarten, Größen und Sitzmaterialien zur Verfügung. Die elektropolierten benetzten Oberflächen erreichen eine Rauheit von Ra 5 μin (0,13 μm) und eignen sich für Anwendungen mit hohen und ultrahohen Reinheitsanforderungen.

Pneumatische Membranventile mit austauschbarem Sitz eignen sich für Anwendungen, die eine häufige Wartung und den Austausch von Ventilen erfordern, wie z. B. bei Vorläuferbehältern und Kanistern. Ihre einfache Bedienung, lange Lebensdauer und hervorragende Dichtleistung tragen dazu bei, die Kosten für den Kunden zu senken.

Die zweistufigen pneumatischen Membranventile der DPT-Serie wurden für Anwendungen mit hoher und ultrahoher Reinheit entwickelt. Sie ermöglichen einen „Sanftanlauf“ durch schnelles Umschalten zwischen Niedrig- und Hochdurchflussmodus. Das Fehlen von benetzten Gewinden oder Federn minimiert Partikelbildung und -einschlüsse und gewährleistet somit eine hohe Reinheit. Geringe Partikelbildung und minimierter Totraum verbessern zusätzlich die Reinheit. Eine Membran aus Kobaltlegierung sorgt für eine lange Lebensdauer, hohe Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit. Verschiedene Anschlussarten und -größen sind verfügbar.

Die federlosen Membranventile der DH-Serie für hohen Druck verfügen über eine mehrlagige Membran aus Kobaltlegierung und Berylliumkupfer (BeCu) für hohe Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit, was eine lange Lebensdauer gewährleistet. Ein Bogen-Sitz verbessert die Abdichtung. Der maximale Betriebsdruck beträgt 3000 psig (206 bar). Manuelle und pneumatische Antriebe sind optional erhältlich, bei der pneumatischen Ausführung auch mit Positionssensoren. Verschiedene Anschlussarten, Größen und Sitzmaterialien stehen zur Verfügung.

Die Feder-Membranventile der DM-Serie für hohen Druck verfügen über ein vollständig metallisches Gehäusedesign ohne Stopfbuchspackung und mit reduziertem Sitzvolumen. Eine vollständig eingeschlossene Weichsitz-Spindelspitze ermöglicht wiederholtes Abdichten. Eine Membran aus Kobaltlegierung sorgt für eine lange Lebensdauer sowie hohe Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit. Der maximale Betriebsdruck beträgt 3500 psig (241 bar). Manuelle und pneumatische Antriebe sind optional erhältlich – mit Positionsanzeigering für Hebelgriffe sowie optionalen Positionssensoren für die pneumatische Ausführung. Verschiedene Anschlussarten, Größen und Sitzmaterialien stehen zur Verfügung.

Die kompakten Membranventile der DS-Serie für hohen Druck zeichnen sich durch ein platzsparendes Design mit reduziertem Innenvolumen, minimaler Partikelbildung und geringem Totraum aus. Eine Membran aus Kobaltlegierung gewährleistet eine lange Lebensdauer, hohe Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit. Die reduzierte Anzahl an Bauteilen vereinfacht die Wartung. Das stopfbuchsenfreie Design eignet sich ideal für Anwendungen mit hochreinen Gasen, während das geringe Betätigungsmoment ein leichtes Öffnen und Schließen ermöglicht. Der maximale Betriebsdruck beträgt 4500 psig (310 bar). Manuelle und pneumatische Antriebe sind verfügbar, ebenso verschiedene Anschlussarten, Größen, Sitzmaterialien sowie eine 2-Ventil-3-Wege-Block-Ausführung.

Die Membranventile der DR-Serie für niedrigen Druck und mittlere Durchflussmengen verfügen über einen vollständig eingeschlossenen Sitz, der eine hervorragende Beständigkeit gegen Quellung und Verunreinigungen bietet. Dank des totraumfreien Designs ist ein einfaches Spülen möglich. Eine Membran aus Kobaltlegierung sorgt für eine lange Lebensdauer sowie hohe Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit. Der Betriebsdruck reicht von Vakuum bis 145 psig, bei einem Cv-Wert von bis zu 0,7 – ideal für Anwendungen mit mittleren Durchflussmengen. Manuelle und pneumatische Antriebe sind optional erhältlich, wobei der manuelle Griff mit einem Sichtfenster ausgestattet ist. Verschiedene Anschlussarten, Größen und Sitzmaterialien stehen zur Verfügung.

Die Membranventile der DV-Serie für niedrigen Druck und hohe Durchflussmengen verfügen über eine Metall-zu-Metall-Dichtungskonstruktion für hervorragende Dichtheit. Der Verzicht auf Federn und Gewinde in benetzten Bereichen verbessert die Reinheit. Das gebundene Membrandesign sorgt für ein sicheres Zurückziehen der Spindel. Der Betriebsdruck reicht von Vakuum bis 300 psig, bei einem Cv-Wert von bis zu 2,8 – ideal für Anwendungen mit hohem Durchfluss. Geringes Betätigungsmoment und eine Spindelpositionsanzeige verbessern die Benutzerfreundlichkeit. Manuelle und pneumatische Antriebe sind optional erhältlich. Verschiedene Anschlussarten, Größen und Sitzmaterialien stehen zur Verfügung.

Die Membranventile der DL-Serie für niedrigen Druck und ultrahohe Durchflussmengen verfügen über eine Membran aus Kobaltlegierung, die hohe Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit für eine lange Lebensdauer bietet. Der Verzicht auf intern benetzte Gewinde oder Federn minimiert die Partikelbildung und -einschlüsse und verbessert so die Reinheit. Der maximale Betriebsdruck beträgt 300 psig (20,6 bar), bei einem Cv-Wert von bis zu 13 – ideal für Anwendungen mit ultrahohem Durchfluss. Manuelle und pneumatische Antriebe sind optional erhältlich. Die manuelle Ausführung erfordert fünfeinhalb Umdrehungen von ganz offen bis ganz geschlossen, bei geringem Drehmoment. Verschiedene Anschlussarten, Größen und Sitzmaterialien stehen zur Verfügung.

Die Membranventile der DF-Serie für hohen Druck und hohe Durchflussmengen basieren auf einer federbelasteten Konstruktion und bieten einen hohen Durchflusskoeffizienten, wodurch sie sich ideal für Hochdruck- und Hochdurchflussanwendungen eignen. Eine Membran aus Kobaltlegierung gewährleistet hohe Haltbarkeit und ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit. Die Ventile sind für einen maximalen Betriebsdruck von bis zu 3.500 psig (241 bar) ausgelegt. Manuelle sowie pneumatische Betätigungen sind optional erhältlich; für pneumatische Ausführungen stehen zudem Positionssensoren zur Verfügung. Die Ventile sind in verschiedenen Anschlussarten, Größen und Sitzwerkstoffen verfügbar.

Die einfachen Membranventile der DE-Serie verfügen über eine Membran aus Kobaltlegierung, die hohe Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit bietet und so eine lange Lebensdauer gewährleistet. Der Verzicht auf Federn und Gewinde in benetzten Bereichen verbessert die Reinheit. Diese Ventile zeichnen sich durch minimale Partikelbildung, geringen Totraum und eine Oberflächenrauheit der benetzten Bereiche von Ra 5 μin (0,13 μm) aus. Der Anschluss über Metall-Dichtkegelverschraubungen eignet sich für Gassysteme mit ultrahoher Reinheit. Der Betriebsdruck reicht von Vakuum bis 150 psig (10 bar), bei einem Temperaturbereich von -10 bis 176 °F (-23 bis 80 °C). Manuelle und pneumatische Antriebe sind optional erhältlich.

Die Membranventile der DK-Serie für hohe Temperaturen verfügen über ein thermisches Eintauchdesign für Anwendungen bis zu 482 °F (250 °C). Ein Metallsitz bietet hervorragende Beständigkeit gegen Quellung und Verunreinigungen, während benetzte Teile aus Metall eine breite chemische Beständigkeit gewährleisten. Eine Membran aus Kobaltlegierung sorgt für eine lange Lebensdauer sowie hohe Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit. Minimale Partikelbildung und geringer Totraum erleichtern das Spülen. Es stehen verschiedene Anschlussarten und Größen zur Verfügung.

Die Membranventile der DI-/DIH-Serie verwenden eine SEMI-konforme Oberflächenmontage. Mit W-Seal- oder C-Seal-Metalldichtungen zwischen Ventil und Substrat ausgestattet, lassen sich diese Membranventile in integrierte Gassysteme einbauen. Sie unterstützen einen maximalen Betriebsdruck von 145 psig (10 bar). Eine Membran aus Kobaltlegierung erhöht die Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit. Die stopfbuchsenfreie Membrandichtung gewährleistet hohe Reinheit, während das Fehlen von Totraum ein einfaches Spülen ermöglicht. Benetzte Komponenten sind elektropoliert auf eine Rauheit von Ra 5 μin (0,13 μm).