Vakuumgeneratoren, VGB- und VGM-Serie

Die Vakuumgeneratoren der Serien VGB und VGM verfügen über eine vollständig geschweißte Konstruktion für verbesserte Dichtleistung und eine verlängerte Lebensdauer. Sie sind dafür ausgelegt, ein Vakuum zu erzeugen und Saugwirkung zum Spülen von Rohrleitungssystemen zu schaffen, wie es in der Halbleiterindustrie weit verbreitet ist. Bei der VGB-Serie stehen für Einlass- und Entlüftungsanschlüsse mehrere Optionen zur Verfügung, während die VGM-Serie die Größen und Typen dieser Anschlüsse festlegt. Maximales Vakuum: –26 in. Hg (–88 kPa); Betriebstemperaturbereich: –40 bis 160 °F (–40 bis 71 °C); Leckrate (Helium) ＜ 2×10⁻¹⁰ std cm³/s.

Die benetzten Oberflächen sind mit einer maschinellen Endbearbeitung auf Ra 15 µin. (0,38 µm) ausgeführt. Diese Vakuumgeneratoren werden mit Ultraschall und DI-Wasser gereinigt und abschließend in einem ISO-Klasse-4-Reinraum (FS 209E Klasse 10 entsprechend) für ultrareine Halbleiteranwendungen verpackt.

Merkmale

Vollständig geschweißte Konstruktion für verbesserte Dichtleistung und längere Lebensdauer

Benetzte Oberflächen maschinell auf Ra 15 µin. (0,38 µm) endbearbeitet

Mit Ultraschall und DI-Wasser gereinigt für ultrareine Halbleiteranwendungen

Endverpackung in ISO-Klasse-4-Reinraum (entspricht FS 209E Klasse 10)