FP-Serie Filter für Ultrahochreine Anwendungen verfügen über eine Abscheiderate von 0,003 µm. Mit einem PTFE-Filterelement ausgestattet, bieten diese Filter eine hervorragende chemische Beständigkeit und sind somit ideal für die Filtration von Gasen in verschiedenen Halbleiterfertigungsprozessen wie CVD, PVD und Trockenätzen geeignet.
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