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Vakuumgeneratoren

Erzeugen Vakuumumgebungen durch Nutzung des Venturi-Effekts

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Vakuumgeneratoren erzeugen Vakuumumgebungen durch Nutzung des Venturi-Effekts. Sie werden in erster Linie zum Spülen von Rohrleitungssystemen und zum Erzeugen von Vakuumbedingungen eingesetzt und finden daher breite Anwendung in der Halbleiterindustrie. Die Vakuumgeneratoren der Serien VGB und VGM verfügen über eine vollständig geschweißte Konstruktion, die eine verbesserte Dichtleistung und eine längere Lebensdauer gewährleistet. Die VGC-Serie integriert ein Vakuum-Venturi, ein luftbetätigtes Ventil und ein Rückschlagventil in einem kompakten Design.

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    Vakuumgeneratoren, VGB- und VGM-Serie

    Die Vakuumgeneratoren der Serien VGB und VGM verfügen über eine vollständig geschweißte Konstruktion für verbesserte Dichtleistung und eine verlängerte Lebensdauer. Sie sind dafür ausgelegt, ein Vakuum zu erzeugen und Saugwirkung zum Spülen von Rohrleitungssystemen zu schaffen, wie es in der Halbleiterindustrie weit verbreitet ist. Bei der VGB-Serie stehen für Einlass- und Entlüftungsanschlüsse mehrere Optionen zur Verfügung, während die VGM-Serie die Größen und Typen dieser Anschlüsse festlegt. Maximales Vakuum: –26 in. Hg (–88 kPa); Betriebstemperaturbereich: –40 bis 160 °F (–40 bis 71 °C); Leckrate (Helium) ＜ 2×10⁻¹⁰ std cm³/s.

    Die benetzten Oberflächen sind mit einer maschinellen Endbearbeitung auf Ra 15 µin. (0,38 µm) ausgeführt. Diese Vakuumgeneratoren werden mit Ultraschall und DI-Wasser gereinigt und abschließend in einem ISO-Klasse-4-Reinraum (FS 209E Klasse 10 entsprechend) für ultrareine Halbleiteranwendungen verpackt.

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    Vakuumgeneratoren, VGC-Serie

    Die Vakuumgeneratoren der VGC-Serie sind dafür ausgelegt, ein Vakuum zu erzeugen und Saugwirkung zum Spülen von Rohrleitungssystemen zu schaffen, wie es in der Halbleiterindustrie weit verbreitet ist. Die VGC-Serie integriert Vakuum-Venturi, luftbetätigtes Ventil und Rückschlagventil in einem kompakten Design. Das luftbetätigte Ventil steuert die Stickstoffzufuhr zum Vakuum-Venturi. Das Rückschlagventil verhindert einen Rückfluss in die Stickstoffzufuhr. Die Option „Constant Bleed“ sorgt für eine kontinuierliche Zufuhr von Inertgas und stellt sicher, dass die Entlüftungsleitung stets mit Inertgas gefüllt bleibt. Maximales Vakuum: –26 in. Hg (–88 kPa); Betriebstemperaturbereich: 14 bis 160 °F (–10 bis 71 °C). Diese Vakuumgenerator-Module werden mit Ultraschall und DI-Wasser gereinigt, um hohe Reinheit zu gewährleisten.

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