Die Vakuumgeneratoren der VGC-Serie sind dafür ausgelegt, ein Vakuum zu erzeugen und Saugwirkung zum Spülen von Rohrleitungssystemen zu schaffen, wie es in der Halbleiterindustrie weit verbreitet ist. Die VGC-Serie integriert Vakuum-Venturi, luftbetätigtes Ventil und Rückschlagventil in einem kompakten Design. Das luftbetätigte Ventil steuert die Stickstoffzufuhr zum Vakuum-Venturi. Das Rückschlagventil verhindert einen Rückfluss in die Stickstoffzufuhr. Die Option „Constant Bleed“ sorgt für eine kontinuierliche Zufuhr von Inertgas und stellt sicher, dass die Entlüftungsleitung stets mit Inertgas gefüllt bleibt. Maximales Vakuum: –26 in. Hg (–88 kPa); Betriebstemperaturbereich: 14 bis 160 °F (–10 bis 71 °C). Diese Vakuumgenerator-Module werden mit Ultraschall und DI-Wasser gereinigt, um hohe Reinheit zu gewährleisten.
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