Produktmerkmale

Die Prozessreinheit ist eines der wichtigsten Anliegen in der Halbleiterindustrie, und die Materialreinheit der Komponenten von Fluidsystemen ist entscheidend, um die geforderte Prozessreinheit zu erreichen.

FITOK hat kundenspezifisch angepassten 316-Edelstahl und 316L-Edelstahl (VAR) als Ventilkörpermaterial entwickelt, das dem SEMI-F20-Standard für Anwendungen in der Halbleiterindustrie entspricht. Als häufig verwendetes Material für Hochreinheits- (HP) und Ultrahochreinheitsprodukte (UHP) besitzt Edelstahl AISI 316L (UNS S31603) eine ausgezeichnete Korrosions- und Oxidationsbeständigkeit. 316L VAR wird in einem speziellen Verfahren veredelt, um nichtmetallische Einschlüsse zu reduzieren und die Materialreinheit weiter zu erhöhen.

Kobaltlegierung

1. Elektropolieren

Die Innenoberfläche von Ultrahochreinheitsprodukten für die Halbleiterindustrie wird elektropoliert, um die Glätte des Strömungskanals zu verbessern und eine chromreiche Schicht auf der Metalloberfläche zu bilden, die die Korrosionsbeständigkeit erhöht. Anschließend werden die elektropolierten Produkte passiviert, um freie Eisenionen zu entfernen. Nach dem Elektropolieren können folgende Prüfstandards erreicht werden:

2. Reinigung

Ultrahochreinheitsprodukte für die Halbleiterindustrie werden in einem nach NEBB zertifizierten Reinraum der ISO-Klasse 5 mit ultraschallunterstütztem DI-Wasser gespült und in einem geschlossenen Ofen getrocknet. Die technischen Spezifikationen des DI-Wassers entsprechen dem SEMI-E49-Standard.

3. Schweißen, Montage, Prüfung und Verpackung

Gereinigte Produkte werden in einem nach NEBB zertifizierten Reinraum der ISO-Klasse 4 geschweißt, montiert, geprüft, inspiziert und verpackt. Die Produkte unterliegen einem Helium-Lecktest gemäß den Anforderungen des SEMI-F1-Standards, und die Produktverpackung entspricht dem SEMI-E49-Standard. Die Produkte werden mit Schutzkappen versehen und doppelt verpackt – in einem inneren, vakuumversiegelten, sauberen Polyethylenbeutel sowie einem äußeren Polyethylenbeutel.

FITOK-Produkte für Halbleiteranwendungen

Membranventile für Atomlagenabscheidung (ALD)

• Ultralange Lebensdauer bei Hochgeschwindigkeitsbetätigung
• Schnelle Reaktionszeit mit einer Ventilöffnungs- oder -schließzeit von unter 5 ms
• Thermoaktor verlängert die Lebensdauer in Anwendungen mit beheiztem Ventilkörper
• Ventile mit induktiven Sensoren, Magnetventil-Baugruppen, Heizpatronen und Thermoelement-Bohrungen sind erhältlich

Pneumatische Membranventile mit Verriegelungseinrichtung

• Manuelle und pneumatische Betätigungsmechanismen verhindern Fehlbedingungen, besser als herkömmliche pneumatische Membranventile
• Cv-Wert 0,3 bei kompakter Bauweise
• Oberflächenmontage gemäß Dichtungsstandard SEMI PR 3.1
• W-Dichtung und C-Dichtung verfügbar

Zweistufige pneumatische Membranventile

• Pneumatische betätigt
• Mit Gasanschlüssen für hohen und niedrigen Durchfluss – der Wechsel zwischen Hoch- und Niedrigdurchfluss ermöglicht eine präzise Steuerung des Druckanstiegs in der Kammer
• Mit Kobaltlegierungs-Membran
• Hocher Durchfluss: Cv 0,27, niedriger Durchfluss: Cv 0,02 ~ 0,12

Edelstahlrohre, elektropoliert (EP-Rohre)

• Materialien: 316L, 316L VAR
• Prüfung: Sichtprüfung, Messung der Oberflächenrauheit, Partikelprüfung, Feuchtigkeitsprüfung sowie eine Reihe von Analysen mittels Rasterelektronenmikroskopie (REM), Auger-Elektronenspektroskopie (AES), Elektronenspektroskopie zur chemischen Analyse (ESCA oder XPS)
• Ausreichender Lagerbestand: FITOK bietet Kunden Komplettlösungen und professionelle Dienstleistungen, um durch flexible Fertigungssysteme und ausreichenden Lagerbestand an Fertigprodukten in globalen Lagern Beschaffungs- und Lagerkosten zu senken
• Vorfertigungsservice: Vorgefertigte elektropolierte Rohrbögen und EP-Rohrbaugruppen sind auf Anfrage erhältlich, um die Montageeffizienz für Kunden zu verbessern

Gasverteilungssysteme

• Die AGH-Serie ist geeignet für Hochreinheits- und Ultrahochreinheits-Fluidsysteme; die AGL-Serie ist für allgemeine Gas-Fluidsysteme und sauerstoffangereicherte Umgebungen ausgelegt.
• Die AGH-Serie ist eine Integration aus einem Membranventil, einem Druckregler und einem Manometer; die AGL-Serie kombiniert ein Kugelventil, einen Druckregler und ein Manometer.
• Eine Legierungs-Membran verbessert Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit für eine lange Lebensdauer bei vielen Schaltzyklen

Integrierte Gassysteme

• Modulares Design – verkürzt die Konstruktionszeit
• Oberflächenmontage – einfache Montage und Wartung
• Miniaturisierung
• 316LV-Materialien, Elektropolierverfahren und Orbitalschweißen
• W-Dichtung / C-Dichtung