Die Rückschlagventile der CI-Serie sind für den Einsatz in integrierten Gassystemen für Anwendungen mit hoher Reinheit und ultrahoher Reinheit geeignet. Durch ihre kompakte Bauweise ermöglichen sie eine deutliche Platzersparnis bei der Installation. Das Kegelventil-Design minimiert die Partikelbildung. Die Ventilkörper werden aus hochwertigen Werkstoffen wie Edelstahl 316L und Edelstahl 316L VAR gefertigt und entsprechen den Anforderungen an Prozesse für ultrahohe Reinheit (FC-03). Die Helium-Leckrate beträgt ≤ 1 × 10⁻⁹ Norm-cm³/s. Dank ihrer hervorragenden Dichtleistung und Korrosionsbeständigkeit erfüllen diese Ventile die strengen Anforderungen von Reinstgassystemen.
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