Halbleiter und Spezialgase

Elektronische Spezialgase (Electronic Specialty Gases, ESGs), oft als das „Lebenselixier“ der Halbleiterindustrie bezeichnet, werden in zentralen Prozessen wie Photolithografie, Ätzen, Abscheidung, Dotierung und Reinigung umfangreich eingesetzt. Um eine hohe Produktleistung und Zuverlässigkeit sicherzustellen, stellt die Halbleiterindustrie extrem hohe Anforderungen an die Reinheit elektronischer Spezialgase, in der Regel über 5N (99,999 %). Dies erfordert, dass die in Fluidsystemen eingesetzten Rohre, Ventile und Verschraubungen ein außergewöhnlich hohes Maß an Sauberkeit aufweisen.Werden diese Reinheitsanforderungen nicht erfüllt, kann dies zu Qualitätsmängeln führen oder sogar ganze Produktionslinien kontaminieren, was im schlimmsten Fall zur vollständigen Ausschussproduktion führt. Darüber hinaus sind viele elektronische Spezialgase toxisch, gefährlich oder brennbar, weshalb eine absolute Dichtheit der Systeme von entscheidender Bedeutung ist.

FITOK beliefert weltweit renommierte Kunden der Halbleiterindustrie mit Ventilen, Verschraubungen und integrierten Systemlösungen. Dank unserer umfassenden Produktkompetenz und langjährigen Anwendungserfahrung gewährleisten wir für unsere Kunden eine sichere, zuverlässige und effiziente Produktion und genießen dadurch ein hohes Maß an Vertrauen innerhalb der Branche.

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Warum FITOK die richtige Wahl für Halbleiter- und Spezialgasanwendungen ist?

Umfassendes Produktportfolio

Unser vollständiges Produktportfolio umfasst Verschraubungen, Ventile, Druckregler, Filter, Rohre sowie integrierte Systeme wie Canister-Baugruppen, Entnahmestick-Baupgruppen und integrierte Gassysteme (IGS) und erfüllt damit unterschiedlichste Anforderungen in Fertigungsprozessen.
Strenge Materialauswahl

Als Gehäusewerkstoffe kommen SEMI-konforme Edelstähle 316L und 316L VAR zum Einsatz. Werkstoffparameter wie chemische Zusammensetzung und Korngröße werden streng kontrolliert, um die Anforderungen von Hochrein- (High Purity, HP) und Ultrahochrein-Anwendungen (Ultra High Purity, UHP) zu erfüllen.
Oberflächenbehandlung

Die inneren Oberflächen werden elektropoliert, um die Strömungsgüte zu verbessern und eine chromreiche Schicht zur erhöhten Korrosionsbeständigkeit zu erzeugen. Anschließend erfolgt eine Passivierung zur Entfernung freier Eisenionen.
Hochreine Reinigung

Die Produkte werden in NEBB-zertifizierten Reinräumen ultraschallgereinigt und getrocknet. Dabei kommt SEMI-E49.6-konformes deionisiertes Wasser (DI-Wasser) zum Einsatz, um sicherzustellen, dass keine Rückstände verbleiben.
Hochwertige Reinräume

Unsere Fertigungsstätte verfügt über mehrstufige, NEBB-zertifizierte Reinräume. Zentrale Prozesse für Ultra-High-Purity-(UHP-)Produkte werden in Reinräumen der Klasse 10 durchgeführt und erfüllen die SEMI-Reinheitsstandards.
Heliumlecktest

Alle HP- und UHP-Ventile werden vor dem Versand gemäß SEMI-F1-Standards einer Helium-Leckprüfung unterzogen. Unsere Helium-Leckdetektoren erreichen dabei eine Empfindlichkeit von 5 × 10⁻¹² std. cm³/s.

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