Die Membranventile der DI-/DIH-Serie verwenden eine SEMI-konforme Oberflächenmontage. Mit W-Seal- oder C-Seal-Metalldichtungen zwischen Ventil und Substrat ausgestattet, lassen sich diese Membranventile in integrierte Gassysteme einbauen. Sie unterstützen einen maximalen Betriebsdruck von 145 psig (10 bar). Eine Membran aus Kobaltlegierung erhöht die Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit. Die stopfbuchsenfreie Membrandichtung gewährleistet hohe Reinheit, während das Fehlen von Totraum ein einfaches Spülen ermöglicht. Benetzte Komponenten sind elektropoliert auf eine Rauheit von Ra 5 μin (0,13 μm).
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