Gasregelsysteme

Umschalten und Steuerung von Gasleitungen ermöglichen

FITOK bietet die Serien CEPR, DPPR, FDR, FPR und FSR an, die leistungsstarke Gasregelsysteme darstellen und sich für verschiedene industrielle sowie Laborumgebungen eignen. Die Serien CEPR und DPPR ermöglichen das automatische Umschalten von Gasleitungen, um eine kontinuierliche Gasversorgung sicherzustellen. Die Serie FDR bietet flexible manuelle und automatische Umschaltoptionen. Die FPR-Serie mit Point-of-Use-Panels und die FSR-Serie mit Druckregel-Panels regeln den Gasdruck präzise und gewährleisten so eine sichere und stabile Gasversorgung. Die Serien AGH und AGL sind Gas-Stick-Baugruppen für hochreine bzw. allgemeine Gase. Die AGH-Serie ist für hochreine Gas-Anwendungen, wie beispielsweise in der Halbleiterfertigung, konzipiert, während die AGL-Serie für allgemeine Industrieanwendungen geeignet ist. Die CSR-Serie von Kanisterbaugruppen ermöglicht die Verpackung und Lagerung verschiedener Precursoren. Alle Produktserien verfügen über ein modulares, integriertes Design, um unterschiedliche Anwendungsanforderungen zu erfüllen.

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  • Allgemeine Entnahme-Sticks, AGL-Serie

    Die AGL-Serie Entnahme-Sticks werden für die präzise Druckregelung und das Absperren von Medien eingesetzt. Mit einem Kugelhahn, einem Druckregler und einem Manometer ausgestattet, eignet sich die AGL-Serie für den Einsatz in allgemeinen Gassystemen sowie in sauerstoffangereicherten Umgebungen.

  • Entnahme-Sticks für Ultrahochreine Anwendungen, AGH-Serie

    Die AGH-Serie ist für hochreine Gase konzipiert und bietet eine hervorragende Dichtleistung sowie Korrosionsbeständigkeit. Mit einem Membranventil, einem Druckregler und einem Manometer ausgestattet, wird sie häufig in der Halbleiterfertigung, der Biomedizin und in Laboratorien eingesetzt.

  • Point-of-Use Paneele, FPR-Serie

    Die FPR-Serie Point-of-Use Paneele integrieren leistungsstarke Druckregler und Membranventile und ermöglichen so eine präzise Gasdruckregelung. Für eine einfache Montage konzipiert, eignen sich diese Paneele für Gasentnahmepunkte in industriellen Produktionslinien und Laboratorien und gewährleisten eine sichere und zuverlässige Gasversorgungssteuerung.

  • Druckregelpaneele, FSR-Serie

    Die FSR-Serie Druckregelpaneele reduzieren Hochdruckgas effektiv auf optimale Arbeitsdrücke. Mit einem kompakten Design und integrierter Sicherheits-Druckentlastung ausgestattet, ermöglichen sie einen schnellen Wechsel der Gasquelle. Entsprechend den speziellen Reinigungs- und Verpackungsstandards von FITOK eignen sich diese Paneele ideal für den Einsatz in sauerstoffangereicherten Umgebungen.

  • Umschaltsysteme, FDR-Serie

    Die FDR-Serie Umschaltsysteme, erhältlich in mehreren Modellen, bieten je nach Gasdurchfluss- und Druckanforderungen manuelles oder automatisches Umschalten und gewährleisten so eine kontinuierliche Gasversorgung. Ihr modulares Design bietet hohe Flexibilität und macht sie ideal für Mehrleitungs-Umschaltanwendungen im industriellen Gastransport, während gleichzeitig Systemzuverlässigkeit und unterbrechungsfreier Betrieb sichergestellt werden.

  • Bubble Behälter, CSR-Serie

    Im Atomlagenabscheidungs-(ALD)-Prozess ist die Auswahl des richtigen Precursors entscheidend für die Prozesssteuerung, die Schichtqualität und weitere Parameter. Gleichzeitig kann – basierend auf den Eigenschaften des Precursors wie Flüchtigkeit und Reaktivität – die Wahl des passenden Kanisters eine synergistische Wirkung auf den Prozess haben. Durch eine hochwertige Qualitätskontrolle vom Materialeinsatz bis zum Formgebungsprozess können die CSR-Serie Bubble Behälter die Verpackung und Lagerung der meisten Precursoren übernehmen und sorgen für ausgezeichnete Sicherheit und Sauberkeit während des gesamten Abscheidungsprozesses.

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