Bubble Behälter, CSR-Serie

Wird für die Lagerung der meisten Precursoren verwendet

Im Atomlagenabscheidungs-(ALD)-Prozess ist die Auswahl des richtigen Precursors entscheidend für die Prozesssteuerung, die Schichtqualität und weitere Parameter. Gleichzeitig kann – basierend auf den Eigenschaften des Precursors wie Flüchtigkeit und Reaktivität – die Wahl des passenden Kanisters eine synergistische Wirkung auf den Prozess haben. Durch eine hochwertige Qualitätskontrolle vom Materialeinsatz bis zum Formgebungsprozess können die CSR-Serie Bubble Behälter die Verpackung und Lagerung der meisten Precursoren übernehmen und sorgen für ausgezeichnete Sicherheit und Sauberkeit während des gesamten Abscheidungsprozesses.

Merkmale

Ultrahochreine Prozesse für ultrahochreine Anwendungen
Anschlussart: Metall-Dichtkantenverschraubungen
Anschlussgröße: 1/4" bis 1/2"
Kundenspezifische Volumina auf Anfrage verfügbar
Außenseite mechanisch spiegelpoliert und Innenseite elektrolytisch poliert auf eine Rauheit Ra ≤ 10 µin (0,25 µm)
Benetzte Metallteile aus 316L-Edelstahl für breite chemische Beständigkeit

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