Das FITOK Integrierte Gassystem wird zur Gasregelung in der Halbleiterindustrie eingesetzt und integriert Ventile, Verschraubungen und andere Rohrleitungskomponenten sowie die erforderlichen Mess- und Regelinstrumente. Das FITOK Integrierte Gassysteme verwendet SEMI-konforme oberflächenmontierte Komponenten und ist modular aufgebaut. Dadurch wird die Gerätegröße reduziert und gleichzeitig die Montage und Wartung vereinfacht.
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