Filter für Ultrahochreine Anwendungen

Ausgelegt für Rohrleitungssysteme mit hoher Reinheit

Hochreinheitsfilter sind speziell dafür ausgelegt, feine Verunreinigungen aus Fluiden in Umgebungen zu entfernen, die außergewöhnlich hohe Sauberkeitsstandards erfordern, wie z. B. in der Halbleiterfertigung. FITOK legt strenge Maßstäbe bei der Materialauswahl und den Fertigungsprozessen an, um diese hohen Reinheitsanforderungen zu erfüllen. Darüber hinaus können diese Filter mit hohen Durchflussraten betrieben werden und gewährleisten so die Reinheit und Qualität des Mediums.

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  • Filter für Ultrahochreine Anwendungen, FP-Serie

    FP-Serie Filter für Ultrahochreine Anwendungen verfügen über eine Abscheiderate von 0,003 µm. Mit einem PTFE-Filterelement ausgestattet, bieten diese Filter eine hervorragende chemische Beständigkeit und sind somit ideal für die Filtration von Gasen in verschiedenen Halbleiterfertigungsprozessen wie CVD, PVD und Trockenätzen geeignet.

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