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Warum erfüllen Metalldichtscheiben-Verschraubungen die Anforderungen der Halbleiterindustrie?

Die Halbleiterindustrie strebt weiterhin nach kleineren Chips mit geringerem Energieverbrauch, wodurch die Strukturbreiten immer kleiner werden. Dies stellt höhere Anforderungen an die Prozessreinheit. Unzureichende Reinheit kann zu Qualitätsmängeln bei den Produkten führen oder sogar eine Kontamination der gesamten Produktionslinie verursachen, was schwerwiegende Folgen wie den Ausschuss von Produkten nach sich ziehen kann.

In Hochreinheits- und Ultrahochreinheits- (UHP)-Fluidsystemen, die in der Halbleiterindustrie eingesetzt werden, ist die Auswahl der Verschraubungen ein entscheidender Punkt. Schweißverschraubungen werden häufig gewählt, sind jedoch für Verbindungen, die regelmäßig ausgetauscht oder gewartet werden müssen, ungeeignet. Die nichtmetallischen Materialien von O-Ring-Dichtscheiben-Verschraubungen können mit dem Medium unverträglich sein. Gibt es also Verschraubungen, die leicht zu montieren und zu demontieren, medienkompatibel sind und gleichzeitig eine zuverlässige Dichtung gewährleisten? Die Antwort lautet: Metall-Dichtscheiben-Verschraubungen. Die Hauptvorteile dieser Verschraubungen, die Metall-Dichtscheiben als Dichtelemente verwenden, sind wie folgt:

• Metall-auf-Metall-Hartdichtung, gute Dichtungsleistung: Beim Anziehen der Mutter pressen die Klemmringe an beiden Enden die Metalldichtung von beiden Seiten zusammen. Da die Härte der Dichtfläche des Klemmrings höher ist als die der Metalldichtung (bei FITOK ist die Dichtfläche aus 316L-Edelstahl um 109 HV härter als Dichtungen aus demselben Material und um 158 HV härter als Nickeldichtungen), wird die Metalldichtung leicht verformt, wodurch zwischen dem Klemmring und der Metalldichtung eine enge Flächendichtung entsteht, die die Dichtungsleistung gewährleistet. Bei FITOK-Produkten beträgt die maximale Helium-Leckrate 4x10^-9 std cm³/s bei Verwendung von versilberten 316L-Edelstahl-, versilberten Nickel- und Kupferdichtungen und 4x10^-11 std cm³/s bei Verwendung von elektrolytisch polierten 316L-Edelstahl- und Nickeldichtungen;

• Wiederholtes Montieren und Verwenden: Die zusammengedrückten Metalldichtungen beschädigen die Dichtfläche des Klemmrings nicht, sodass die Verbindung mehrfach wiederverwendet werden kann – es muss lediglich jedes Mal die Dichtung gewechselt werden. Dies führt zu niedrigen Wartungskosten;
• Keine Totzonen, kein Rückstand und leicht zu spülen: Die Konstruktion der Metall-Dichtscheiben-Face-Seal-Verschraubungen ermöglicht es, dass das Dichtelement vollständig vom Gas gespült wird, wodurch das Risiko einer Kontamination durch Rückstände beseitigt wird;
• Einfach zu montieren und zu demontieren: Diese Verschraubungen lassen sich leicht mit handelsüblichen Werkzeugen montieren und demontieren, was die Effizienz bei Installation und Wartung erheblich steigert.

Welche Produkte gehören zur FITOK FR-Serie Metallfrondichtverschraubungen?

Eine typische Metallfrondichtverschraubung besteht aus den Klemmringen, der Dichtung, der Überwurfmutter und der Druckschraube. Neben diesen Bauteilen umfasst die FITOK FR-Serie Metallfrondichtverschraubungen auch Körper, Stopfen, Kappe, Strömungsbegrenzer, Verriegelungseinrichtungen usw.

Dabei muss die Metalldichtung nach jeder Demontage ersetzt werden, und derzeit bietet FITOK 8 Arten von Metalldichtungen an:

1. Nicht fixierte Dichtung: Die am häufigsten verwendete Dichtungsart;

2. Dichtung mit Haltering: Die Dichtung wird durch den Haltering an der Dichtfläche des Klemmrings fixiert, sodass sie nicht von der Einbaurichtung abhängig ist und perfekt zentriert wird;

3. Seitlich einsetzbare Dichtung mit Haltering: Radiale Montage, geeignet für den Einbau in engen Räumen;

4. Blinddichtung: Dient als temporärer Verschluss;

5. Dämpfungsdichtung: Mit Metallfilter im Loch zur Reduzierung der Auswirkungen von Druckschwankungen in der Leitung;

6. Rändeldichtung: Der Außenring der Dichtung ist gerändelt und greift nach der Montage in den Klemmring ein, um ein Lösen zu verhindern;

7. Drosseldichtung: Entwickelt für präzise Durchflussregelung;

8. Drosseldichtung mit Rubinbohrung: Rubinbohrung für hohe Temperaturbeständigkeit, breite chemische Kompatibilität und hohe Verschleißfestigkeit.

Der ordnungsgemäße Betrieb gemäß den FITOK-Montageanweisungen ist notwendig, um die Dichtungsleistung sicherzustellen. Zuerst die Dichtfläche der Verschraubung und die Dichtung auf schwere Kratzer und andere Mängel prüfen und sicherstellen, dass die Dichtfläche in gutem Zustand ist. Dann den Klemmring, die Dichtung, die Überwurfmutter (weiblich) und die Überwurfmutter (männlich) montieren und die Mutter von Hand anziehen. Mit einem Schraubenschlüssel die Überwurfmutter (weiblich) weiter anziehen, während die Überwurfmutter (männlich) festgehalten wird: 1/8 Umdrehung für Edelstahl- und Nickeldichtungen (Hinweis: 3/8 Umdrehung für Rändeldichtungen) und 1/4 Umdrehung für Kupferdichtungen.

Montageanweisungen für Metalldichtscheiben-Verschraubungen der FR-Serie

FITOK bietet ein umfassendes Sortiment an Hochreinheits- und Ultrahochreinheitsprodukten, darunter Membranventile, Faltenbalgventile, Dosierventile, Druckregler sowie Gaskontrollsysteme wie Point-of-Use-Panels, Umschaltsysteme und integrierte Gassysteme, zusätzlich zu Metalldichtscheiben-Verschraubungen und Schweißverschraubungen. Montageanweisungen und Schulungsdienste stehen ebenfalls zur Verfügung. FITOK setzt sich stets dafür ein, die unterschiedlichen Anforderungen unserer Kunden mit spezialisierten Produkten und professionellen Dienstleistungen zu erfüllen und kontinuierlich Mehrwert für unsere Kunden zu schaffen.