Neuprodukteinführung FITOK Bubbelbehälter-Baugruppen

FITOK Bubbelbehälter-Baugruppen

 

Übersicht

 

 

Im Prozess der Atomlagenabscheidung (ALD) ist die Auswahl des geeigneten Precursors entscheidend für die Prozesskontrolle und die Eigenschaften der abgeschiedenen Schicht. Gleichzeitig kann – abhängig von den Eigenschaften des Precursors, wie Flüchtigkeit und Reaktivität – die Auswahl des passenden Behälters einen synergistischen Effekt auf den Prozess haben.

 

Durch eine konsequent hohe Qualitätskontrolle, von der Werkstoffauswahl bis hin zum Formgebungsprozess, eignen sich die Behälterbaugruppen der CSR-Serie für die Verpackung und Lagerung der meisten Precursoren und gewährleisten hervorragende Sicherheit und Reinheit während des gesamten Abscheidungsprozesses.

 

Merkmale

 

 

  • Ultrahochreine Fertigungsprozesse für Anwendungen mit ultrahoher Reinheit (UHP)
  • Mediumberührte Metallteile aus Edelstahl 316L mit breiter chemischer Beständigkeit
  • Außenoberfläche mechanisch spiegelpoliert, Innenoberfläche elektropoliert mit einer Rauheit von Ra ≤ 10 μin. (0,25 μm)
  • Leckrate (Helium): ≤ 1,0 × 10-9 std cm3/s
  • Anschlussgröße: 1/4" bis 1/2"
  • Anschlussart: Metallfrondichtverschraubungen
  • Kundenspezifische Volumina auf Anfrage erhältlich

 

Hauptkonstruktionswerkstoffe

 

 

Hauptkonstruktionswerkstoffe
 
Artikel Komponente Beispiel für die Artikelnummer Material
1 Kappe 6L-CP-FR4 Edelstahl 316L
2 Dichtung 6L-GT-FR4-AS-UP Edelstahl 316L
3 Membranventil DQ6L-RFR4-RF3 Edelstahl 316L
4 Verriegelungsvorrichtung S4-FR4-LD Edelstahl 304
5 Behälter CSR6L-50-ALD Edelstahl 316L

Hinweis: Die oben dargestellte Abbildung zeigt den typischen Produkttyp. Für weitere Ausführungen wenden Sie sich bitte an die FITOK Group oder an unsere autorisierten Vertriebspartner.

 

Die hochwertigen Membranventile und Metallfrontdichtverschraubungen von FITOK gewährleisten eine präzise und zuverlässige Durchflussregelung sowie eine saubere Gasversorgung mit hoher Reinheit aus Behälterbaugruppen.

 

Weitere Informationen finden Sie im Produktkatalog. Sollten Sie Fragen haben, kontaktieren Sie uns bitte direkt. Unser Vertriebs- und Technikteam wird sich schnellstmöglich mit Ihnen in Verbindung setzen.

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