Neuprodukteinführung: FITOK Entnahmestick-Baugruppen

Die Entnahmestick-Baugruppen von FITOK integrieren ein Membranventil oder einen Kugelhahn, einen Druckregler sowie ein Manometer in einer kompakten Einheit, um die Anzahl der Vor-Ort-Verbindungen zu reduzieren und eine präzise Druckregelung sowie eine zuverlässige Absperrung des Mediums zu gewährleisten. Die FITOK Entnahmestick-Baugruppen, einschließlich der Serien AGH und AGL, werden in der Halbleiterindustrie und weiteren Bereichen weit verbreitet eingesetzt. FITOK wendet strenge Spezifikationen für Werkstoffe sowie für Reinigungs- und Verpackungsprozesse an, um eine hohe Produktreinheit sicherzustellen.

 

AGH-Serie Entnahmestick-Baugruppen

 

 

AGH-Serie Entnahmestick-Baugruppen

⊗ Die Abbildung zeigt, dass das Manometer mit einer T-Serie Rohrverschraubung verbunden ist

 

Merkmale

 

  • Für Gasversorgungssysteme mit hoher Reinheit, wie in der Halbleiterindustrie
  • Integration eines Membranventils für ultrahohe Reinheit (UHP), eines Manometers für ultrahohe Reinheit (UHP) sowie eines Druckreglers für ultrahohe Reinheit (UHP) in einer kompakten Entnahmestick-Baugruppe, wobei das Membranventil die Absperrfunktion übernimmt
  • Legierungsmembran zur Verbesserung von Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit für eine lange Lebensdauer bei hohen Schaltzyklen
  • T-Serie Rohrverschraubungen optional für den Anschluss des Manometers (kundenspezifische Längen verfügbar)
  • FC-03 Spezifikation für Prozesse mit ultrahoher Reinheit (UHP)
  • 1) Montage und Prüfung im ISO-4- / FED-STD-209E Klasse-10-Reinraum
  • 2) Herstellung aus hochreinem Edelstahl; mediumberührte Oberflächen elektropoliert mit einer durchschnittlichen Innenrauheit von Ra 10 µin. (0,25 µm)
  • 3) Ultrahochreine Reinigung mit kontinuierlich überwachtem Ultraschall-Reinigungssystem für deionisiertes Wasser (DI-Wasser)
  • 4) Doppelverpackung mit vakuumversiegeltem, staubfreiem Polyethylen-Innenbeutel (optionale Befüllung mit Inertgas) sowie versiegeltem Polyethylen-Außenbeutel

 

Technische Daten

 

 
Parameter Max. Einlassdruck 300 psig
Auslassdruck 0 ~ 25, 0 ~ 50, 0 ~ 100, 0 ~ 250 psig
Betriebstemperatur -9,4 ~ 140 °F (-23 ~ 60 °C)
Durchflusskoeffizient (Cv-Regler) 0,2 ~ 1,8
Größe Von 1/4" bis 1" optional
Hauptkörpermaterial Edelstahl 316L, 316L VAR optional (Hauptmaterial des Manometerventils is Edelstahl 316L)
Hauptkomponente Membranventile DH-Serie (1/4"), DV-Serie (1/2"), DL-Serie (3/4" & 1")
Manometer GP-Serie
Druckregler RDG-Serie (1/4"), RDM-Serie (1/2"), RDH-Serie (3/4" & 1")

 

AGL-Serie Allgemeine Entnahmestick-Baugruppen

 

 

AGL-Serie Allgemeine Entnahmestick-Baugruppen

 

Merkmale

 

  • Geeignet für allgemeine Gassysteme und sauerstoffangereicherte Umgebungen
  • Integriert aus einem Kugelhahn, einem Druckregler und einem Manometer
  • Legierungsmembran zur Verbesserung von Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit für eine lange Lebensdauer bei hohen Schaltzyklen
  • FC-02 Spezifikation für spezielle Reinigungs- und Verpackungsprozesse
  • 1) Erfüllt die Anforderungen der ASTM G93 Level C, wonach nichtflüchtige Rückstände 6 mg/ft2 nicht überschreiten dürfen; geeignet für sauerstoffangereicherte Umgebungen
  • 2) Doppelverpackung mit vakuumversiegeltem, staubfreiem Polyethylen-Innenbeutel (optionale Befüllung mit Inertgas) sowie versiegeltem Polyethylen-Außenbeutel

 

Technische Daten

 

 
Parameter Max. Einlassdruck 500 psig
Auslassdruck 0 ~ 25, 0 ~ 50, 0 ~ 100, 0 ~ 250 psig
Betriebstemperatur -40 ~ 140 °F (-40 ~ 60 °C)
Durchflusskoeffizient (Cv-Regler) 0,2 ~ 1,8
Größe Von 1/4" bis 1" optional
Hauptkörpermaterial Edelstahl 316L, 316L VAR optional (Hauptmaterial des Manometerventils is Edelstahl 316L)
Hauptkomponente Kugelhähne BO-Serie
Manometer GC-Serie
Druckregler RDG-Serie (1/4"), RDM-Serie (1/2"), RDH-Serie (3/4" & 1")

 

Weitere Informationen finden Sie im Katalog für Entnahmestick-Baugruppen. Sollten Sie Fragen haben, kontaktieren Sie uns bitte direkt. Wir werden uns schnellstmöglich mit Ihnen in Verbindung setzen.

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