Neuprodukteinführung: FITOK Zweistufige Pneumatische Membranventile

Zweistufige Pneumatische Membranventile

 

Einführung

 

 

Die zweistufigen pneumatischen Membranventile der FITOK DPT-Serie werden in der Halbleiterindustrie eingesetzt, um ein schnelles Umschalten zwischen Niedrig- und Hochdurchflussmodus zu ermöglichen. Dadurch wird ein Druckanstieg in der Prozesskammer reduziert und verhindert, dass Medien mit hoher Geschwindigkeit in die Kammer oder andere interne Bereiche der Halbleiterprozessanlage strömen. So wird das Aufwirbeln von Partikeln und eine Kontamination der Prozesskammer vermieden. Zweistufige pneumatische Membranventile sind im Vergleich zur herkömmlichen Druckregelung mittels zusätzlicher Bypass-Leitungen platzsparender und kosteneffizienter.

 

Merkmale

 

 

  • Schnelles Umschalten zwischen niedrigem und hohem Durchfluss
  • Membran aus Kobaltlegierung mit hoher Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit für eine lange Lebensdauer bei hohen Schaltzyklen
  • Minimale Partikelbildung und geringe Toträume
  • Innenliegend ohne Gewinde und ohne Federn ausgeführt

 

Technische Daten

 

 

 
Material des Ventilkörpers 316L, 316L VAR
Material des Ventilsitzes PFA, PCTFE
Anschlussgröße 1/4"
Durchflusskoeffizient (Cv) Hochdurchfluss (HF) Anschluss: 0.27
Niedrigdurchfluss (LF) Anschluss: 0.02 ~ 0.12
Öffnungsgröße 0.16 Zoll (4.1 mm)
Betriebsdruck Vakuum bis 145 psig (10 bar)
Betriebstemperatur PFA: 14 ~ 302 °F (-10 ~ 150 °C)
PCTFE: 14 ~ 176 °F (-10 ~ 80 °C)
Wetted Surface Roughness Ra 5 μin. (0.13 μm)
Leckrate (Helium) Intern ≤ 1×10-9 std cm3/s
Extern ≤ 1×10-9 std cm3/s

 

Weitere Informationen finden Sie im Katalog für zweistufige pneumatische Membranventile. Sollten Sie Fragen haben, kontaktieren Sie uns bitte direkt. Wir werden uns schnellstmöglich mit Ihnen in Verbindung setzen.

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