Produktneueinführung: FITOK Vakuumgeneratoren

Vakuumgeneratoren sind dafür ausgelegt, ein Vakuum zu erzeugen und einen Sog zur Spülung von Rohrleitungssystemen bereitzustellen. Sie finden breite Anwendung in der Halbleiterindustrie. FITOK stellt stolz drei Serien von Vakuumgeneratoren vor: die Serien VGB, VGM und VGC. Die VGB-Serie verfügt über eine Hauptstruktur, die der der VGM-Serie ähnelt, bietet jedoch mehrere Optionen für Einlass- und Entlüftungsanschlüsse. Die VGM-Serie hingegen definiert die Größen und Typen der Einlass- und Entlüftungsanschlüsse fest. Darüber hinaus integriert die VGC-Serie eine Vakuum-Venturi-Düse, ein luftbetätigtes Ventil sowie ein Rückschlagventil und bietet damit eine besonders kompakte Bauweise.

 

VGB- und VGM-Serie Vakuumgeneratoren

 

 

VGB- und VGM-Serie Vakuumgeneratoren

 

Merkmale

 

  • Vollverschweißte Konstruktion zur Verbesserung der Dichtleistung und Verlängerung der Lebensdauer
  • Vollverschweißte Konstruktion zur Verbesserung der Dichtleistung und Verlängerung der Lebensdauer
  • Vollverschweißte Konstruktion zur Verbesserung der Dichtleistung und Verlängerung der Lebensdauer
  • Vollverschweißte Konstruktion zur Verbesserung der Dichtleistung und Verlängerung der Lebensdauer

 

Technische Daten

 

 
N2 Einlassdruck 70 ~ 110 psig (4.8 ~ 7.6 bar)
Vakuum Maximum 100 Torr (26 in. Hg)
Betriebstemperatur 40 ~ 160 °F (-40 ~ 71 °C)
Maximaler Druck Vakuumeinlass 3500 psig (241 bar)
Prüfdruck (Vakuum) 5250 psig (345 bar)
Berstdruck (Vacuum) 10500 psig (690 bar)
Leckrate (Helium) Innenleckage ≤ 2×10-10 std cm3/s
Außenleckage

 

VGC-Serie Vakuumgeneratoren

 

 

VGC-Serie Vakuumgeneratoren

 

Merkmale

 

  • Luftbetätigtes Ventil steuert die Stickstoffzufuhr zur Vakuum-Venturi-Düse
  • Rückschlagventil verhindert den Rückfluss in die Stickstoffversorgung
  • Optionale Dauerentlüftung zur Aufrechterhaltung einer inerten Entlüftungsleitung
  • Optionale Dauerentlüftung zur Aufrechterhaltung einer inerten Entlüftungsleitung

 

Technische Daten

 

 
N2 Einlassdruck 70 ~ 110 psig (4.8 ~ 7.6 bar)
Vakuum Maximum 100 Torr (26 in. Hg)
Betriebstemperatur 14 ~ 160 °F (-10 ~ 71 °C)
Maximaler Druck Vakuumanschluss 3500 psig (241 bar)
Prüfdruck (Vakuum) 5250 psig (345 bar)
Berstdruck (Vacuum) 10500 psig (690 bar)
Leckrate Bubble Tight
Öffnungsdruck (Rückschlagventil) 3 psig (0.2 bar) Differential
Öffnungsdruck (Luftbetätigtes Ventil) 60 ~ 110 psig (4 ~ 7.6 bar)
Konstante Entlüftung CB025 1 ~ 2.5 slpm @ 5.5 bar (80 psig) N2
CB050 2 ~ 5 slpm @ 5.5 bar (80 psig) N2
CB080 5 ~ 8 slpm @ 5.5 bar (80 psig) N2
CB150 10 ~ 15 slpm @ 5.5 bar (80 psig) N2

Hinweise:
① Der Öffnungsdruck ist ein Nennwert und kann je nach Anwendung variieren.
② Die Option Dauerentlüftung umfasst ein zusätzliches Rückschlagventil für die Entlüftungsbohrung.

 

Weitere Informationen finden Sie im Katalog der Vakuumgeneratoren der VGB- und VGM-Serie sowie im Katalog der VGC-Serie. Sollten Sie Fragen haben, kontaktieren Sie uns bitte direkt.Wir werden uns schnellstmöglich mit Ihnen in Verbindung setzen.

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