Produktneueinführung: FITOK Membranventile für hohe Temperaturen

FITOK Membranventile für hohe Temperaturen

 

Übersicht

 

 

Mit der zunehmenden Anzahl von Anwendungen, die Hochtemperatur-Precursoren erfordern, ist ein Ventil, das die Anforderungen an Hochtemperaturanwendungen erfüllt, von entscheidender Bedeutung für industrielle Rohrleitungssysteme mit strengen Temperaturregelungsanforderungen. Die Hochtemperatur-Membranventile der FITOK DK-Serie sind für vollständig geschlossene Hochtemperaturumgebungen mit hoher Reinheit (HP) und ultrahoher Reinheit (UHP) geeignet, in denen alle Ventilkomponenten – einschließlich des Antriebs – für den Einsatz bei hohen Temperaturen ausgelegt sind. Die mediumberührten Teile des Ventils bestehen vollständig aus Metall, und das spezielle Konstruktionsdesign ermöglicht es dem Ventil, auch unter Hochtemperaturbedingungen stabile Durchflusskoeffizienten (Cv-Werte) beizubehalten.

 

Merkmale

 

 

  • Thermisches Eintauchdesign für den Einsatz bei Temperaturen bis 482 °F (250 °C)
  • Metallischer Ventilsitz für hervorragende Beständigkeit gegen Aufquellen und Kontamination
  • Membran aus Kobaltlegierung mit hoher Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit für eine lange Lebensdauer bei hohen Schaltzyklen
  • Alle mediumberührten Teile aus Metall mit breiter chemischer Beständigkeit
  • Minimale Partikelbildung und geringe Toträume, leicht zu spülen

 

Technische Daten

 

 

 
Anschlussgröße 1/4" bis 3/8" oder 6mm bis 8mm
Anschlusstyp Rohrstumpfschweiß, FR-Einschraubverschraubung mit Metallfrontdichtung, Rohrverschraubung
Durchflusskoeffizient 0.27
Öffnungsgröße 0.16 Zoll (4.1 mm)
Max. Betriebsdruck 145 psig (10 bar)
Pneumatischer Steuerkopf
Betriebsdruck
72 ~ 101 psig (5 ~ 7 bar)
Temperatur 14 ~ 482 °F (-10 ~ 250 °C)
Oberflächenrauheit der mediumberührten Flächen Bis zu Ra 5 μin. (0.13 μm)
Leckrate (Helium) Intern ≤ 3x10-9 std cm3/s
Extern ≤ 3x10-9 std cm3/s

 

Typische Anwendungen

 

 

Metallorganische chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD)

Atomlagenabscheidung (ALD)

Hochtemperaturreaktor

 

Neben den Hochtemperatur-Membranventilen der DK-Serie bietet FITOK auch weitere Membranventile für ultrahohe Reinheit (UHP) (Serien DQ, DH, DM, DS, DR, DV, DL und DF) sowie Membranventile der ALD-Serie für die Atomlagenabscheidung an, um die strengen Anforderungen an Komponenten von Fluidsystemen in Branchen wie der Halbleiterfertigung zu erfüllen.

 

Weitere Informationen finden Sie im Produktkatalog. Sollten Sie Fragen haben, kontaktieren Sie uns bitte direkt. Unser Vertriebs- und Technikteam wird sich schnellstmöglich mit Ihnen in Verbindung setzen.

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