Integriertes Gassystem (IGS)

Einführung

 

 

Ein integriertes Gassystem ist ein modulares System zur Gasregelung in der Halbleiterindustrie. Mit dem Fortschritt der Halbleiter-Prozesstechnologie steigen auch die Anforderungen an Gasregelsysteme.

 

Das integrierte Gassystem von FITOK verwendet Aufbaumontage-Komponenten gemäß SEMI-Standard für ein modulares Design. Dadurch werden Installation und Wartung vereinfacht und gleichzeitig die Systemgröße reduziert.

 

FITOK, Ein-Durchflusswegesystem

Ein-Durchflusswegesystem

 

Merkmale

 

 

  • Modulares Design – Verkürzung der Auslegungszeit

Gemäß dem PID-Diagramm des Kunden kann das System durch die Installation eines Standard-Substrats, von Ventilen (Membranventile, Rückschlagventile, Druckregler), Durchflussmessern, Filtern, Drucksensoren und weiteren Komponenten auf der Grundplatte ausgelegt werden.

 

  • Oberflächenmontage – Einfache Installation und Wartung

Alle Komponenten sind gemäß SEMI-Standard (1,125'' W-Dichtung/C-Dichtung, 1,5'' W-Dichtung/C-Dichtung) oberflächenmontiert. Installation und spätere Wartung können mit einfachen Werkzeugen durchgeführt werden.

 

  • Miniaturisierung

Die Größe beträgt etwa ein Drittel eines herkömmlichen Panels, und die entsprechenden Durchflusskanäle sind ebenfalls reduziert, was eine bessere Kontaminationskontrolle ermöglicht.

 

  • SEMI-Standardmaterial, Elektropoliturverfahren und Orbitalschweißen

Alle mediumberührten Komponenten bestehen aus Edelstahl gemäß SEMI-Standard. Die Durchflusskanäle sind elektropoliert (Ra 0,13), und alle Verbindungen sind orbitalschweißt.

 

  • W-Dichtung/C-Dichtung

Zwischen den Komponenten und dem Substrat wird eine W-Dichtung/C-Dichtung verwendet. Die Dichtflächen sind unabhängig von externen Kräften auf die Komponenten, wodurch eine optimale Dichtwirkung erreicht wird.

 

FITOK, Neun-Durchflusswegesystem

Neun-Durchflusswegesystem

 

FITOK, Sieben-Durchflusswegesystem

Sieben-Durchflusswegesystem

 

Bestellinformation

 

 

FITOK kann integrierte Gassysteme gemäß den PID-Diagrammen der Kunden auslegen und liefern. Filter, Drucksensoren und MFCs können entweder vom Kunden bereitgestellt werden oder von FITOK entsprechend den vom Kunden vorgegebenen Marken beschafft werden.

 

Weitere Informationen finden Sie im Katalog für integrierte Gassysteme. Sollten Sie Fragen haben, kontaktieren Sie uns bitte direkt. Wir werden uns schnellstmöglich mit Ihnen in Verbindung setzen.

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