Neuprodukteinführung: FITOK preisoptimierte Membranventile

 FITOK preisoptimierte Membranventile

 

Einführung

 

 

Die Membranventile der DE-Serie in preisoptimierter Ausführung sind typische Produkte für Gas-Fluidsysteme mit ultrahoher Reinheit (UHP). Zuverlässigkeit und Wirtschaftlichkeit werden durch die Reduzierung der Komponentenanzahl, die Optimierung der Bearbeitungsverfahren sowie durch Serienfertigung erreicht. Gleichzeitig bleibt die grundlegende Leistungsfähigkeit erhalten, da dieselben Werkstoffe, Reinigungs- und Verpackungsprozesse wie bei den anderen Serien der FITOK-Membranventile verwendet werden. Die fortschrittlichen Fertigungsprozesse und die strenge Qualitätskontrolle von FITOK stellen sicher, dass die Produkte die Anforderungen von Gas-Fluidsystemen mit ultrahoher Reinheit in der Halbleiterindustrie erfüllen.

 

Merkmale

 

 

  • Minimale Partikelbildung und geringe Toträume
  • Membran aus Kobaltlegierung mit hoher Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit für eine lange Lebensdauer bei hohen Schaltzyklen
  • Keine Federn oder Gewinde in mediumberührten Bereichen – verbessert die Reinheit

 

Technische Daten

 

 

 
Anschlussgröße 1/4"
Anschlusstyp FR-Metallfrontdichtverschraubung
Durchflusskoeffizient (Cv) 0.27
Öffnungsgröße 0.16 Zoll (4.1 mm)
Betriebsdruck Vakuum bis 150 psig (10 bar)
Betriebsdruck des pneumatischen Steuerkopfs 60 ~ 90 psig (4.2 ~ 6.2 bar)
Temperatur -10 ~ 176 °F (-23 ~ 80 °C)
Leckrate (Helium) Intern ≤ 1x10-9 std cm3/s
Extern ≤ 1x10-9 std cm3/s

 

Neben den preisoptimierten Membranventilen der DE-Serie bietet FITOK auch weitere Membranventile für ultrahohe Reinheit (UHP) (Serien DK, DQ, DH, DM, DS, DR, DV, DL und DF), Membranventile der ALD-Serie für die Atomlagenabscheidung sowie Kugelhähne für hohe Reinheit (HP) (Serien BGP und BRP) für Saubere, trockene Druckluft (CDA) und Massengase an, um die strengen Anforderungen an Komponenten von Fluidsystemen in Branchen wie der Halbleiterindustrie zu erfüllen.

 

Weitere Informationen finden Sie im Katalog der DE-Serie preisoptimierter Membranventile. Sollten Sie Fragen haben, kontaktieren Sie uns bitte direkt. Unser Vertriebs- und Technikteam wird sich schnellstmöglich mit Ihnen in Verbindung setzen.

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