FITOK Membranventil – Reinheit für die Halbleiterindustrie

Membranventile

 

Einführung

 

 

Hochreine Membranventile werden hauptsächlich in der Halbleiter-, Erdgas-, Photovoltaik-, Mikroelektronik-, Flüssigkristallpanel-, Chemie- und Pharmaindustrie sowie in weiteren Branchen eingesetzt. Sie sind geeignet für Anwendungen mit ultrahochreinen Gasen, korrosiven Gasen, toxischen Gasen sowie brennbaren und explosionsgefährlichen Medien.

 

FITOK hat auf Grundlage langjähriger technologischer Erfahrung in der Branche sukzessive eine Vielzahl von Membranventilen für ultrahochreine Anwendungen entwickelt, um den hohen Industriestandards gerecht zu werden.

 

Merkmale

 

 

  • Geeignet für ultrahochreine Anwendungen
  • Metall-auf-Metall-Membranabdichtung zur Atmosphäre für maximale Dichtintegrität
  • Strömungsdesign mit Radius-Übergängen zur Reduzierung von Toträumen und Minimierung von Kontaminationen
  • Elgiloy-Membranmaterial mit hoher Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit für eine lange Lebensdauer bei hohen Schaltzyklen
  • Verschiedene Handbetätigungen und pneumatische Antriebe verfügbar
  • Erhältlich als 2-Wege- (gerade und Winkelbauform), 3-Wege- und 4-Wege-Ausführung
  • Kundenspezifische Verteilerblöcke auf Anfrage verfügbar

 

Typen

 

 

Membranventile

 

Technische Parameter

 

 

Membranventile

Hinweis: Die angegebenen Betriebstemperaturen der Dichtsitze basieren auf experimentellen Daten. Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Anwendungsberatungen.

 

Qualitätssicherung

 

 

Material & Reinigungsprozess

 

Membranventile

 

Reinigungsraum der Klasse 100

 

Das finale Schweißen, die Montage, die Prüfung und die Verpackung von Produkten mit ultrahoher Reinheit erfolgen im Reinraum der Klasse 100.

 

Membranventile

 

Weitere Informationen finden Sie im Produktkatalog. Sollten Sie Fragen haben, kontaktieren Sie uns bitte direkt. Wir werden uns schnellstmöglich mit Ihnen in Verbindung setzen.

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